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LTPS低温多晶硅技术及其优势简介-金猪娱乐官网

时间:2020-11-17
本文摘要:一、LTPS低温多晶硅概述(低温多晶硅;S,而低温多晶硅材料(LTPS)的电子迁移率平均为50-200cm2/v因此,与传统非晶硅薄膜晶体管液晶显示器相比,低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器具有分辨率高、响应速度快、亮度高(孔径比低)的优点。

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一、LTPS低温多晶硅概述(低温多晶硅;LTPS(以下简称LTPS)是平板显示领域的另一项新技术。继非晶硅(以下简称非晶硅)之后的下一代技术。

多晶硅是一种尺寸约为0.1至几微米的硅基材料,由许多硅颗粒组成。在半导体制造行业中,多晶硅一般采用lpcvd(低压化学气相沉积)处理,然后在900以下进行热处理,称为SPC(固相晶化)。但是这种方法不适合平板显示行业,因为玻璃的最低温度只有650。

因此,LTPS技术特别适用于平板显示器的生产。传统非晶硅材料的电子迁移率仅为0.5cm2/V.S,而低温多晶硅材料(LTPS)的电子迁移率平均为50-200 cm2/v.s。因此,与传统非晶硅薄膜晶体管液晶显示器相比,低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器具有分辨率高、响应速度快、亮度高(孔径比低)的优点。

同时,外围驱动电路可以同时制作在玻璃基板上,超过了玻璃上集成系统(SOG)的目标,因此需要节省空间和成本。另外,LTPS技术是发展有源有机电致发光(AM-OLED)的技术平台,所以LTPS技术的发展受到了广泛的尊重第二,非晶硅(a-Si)和低温多晶硅(LTPS)的区别一般来说,低温多晶硅的加工温度不应该高于600,尤其是在拒绝与a-Si生产不同的激光退火时。与a-Si相比,LTPS的电子运动速度比a-Si慢100倍,这可以解释两个问题:第一,每个LTPSPANEL都比a-SiPANEL快;其次,LTPSPANEL的外观尺寸小于a-SiPANEL。


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